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纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 7-8, 页码: 245-248
Authors:  张海霞;  张泰华;  郇勇
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纳米压痕  纳米划痕  力学特性  氧化硅  热氧化  Lpcvd  Pecvd  
亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定 期刊论文
力学学报, 2003, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 498-502
Authors:  张泰华;  郇勇;  王秀兰
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纳米压痕  纳米划痕  氮化钛  微力学性能  磨擦性能  
氮化钛沉积膜的摩擦性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2003, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 367-370
Authors:  张泰华;  郇勇;  杨业敏
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氮化钛薄膜  显微硬度  纳米压痕  纳米划痕  摩擦性能  
真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能 期刊论文
实验力学, 2003, 卷号: 18, 期号: 1, 页码: 1-5
Authors:  张泰华;  郇勇;  王秀兰
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真空磁过滤电弧离子镀  Dlc膜  纳米压痕  纳米划痕  固体润滑