| 一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法 | |
夏原 ; 高方圆; 李光
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| 2021-12-24 | |
| Rights Holder | 中国科学院力学研究所 |
| Abstract | 本发明实施例涉及一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法，解决了现有制备技术中面临的沉积温度高，过程难控制以及成本昂贵等问题，保障了工业化生产过程中的工艺稳定性和可重复性。同时，柔性晶态薄膜在力学和宽波段光学透过性能方面表现出很大的优势，可以更好地用于表面防护涂层及红外窗口透明保护膜等，带来巨大的经济和社会效益。 |
| Application Date | 2020-03-27 |
| Date Available | 2021-12-24 |
| Patent Number | ZL202010227914.7 |
| Language | 中文 |
| Country | 中国 |
| Agency | 北京和信华成知识产权代理事务所 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/88139 |
| Collection | 先进制造工艺力学实验室 |
| Affiliation | 中国科学院力学研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 夏原,高方圆,李光. 一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法. ZL202010227914.7[P]. 2021-12-24. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 20211224_0C_CN_0 (4)（672KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Download | ||
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